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固体电介质的击穿形式有：电击穿、热击穿和电化学击穿。同一种电介质在不同的外界条件下，可以发生不同的击穿形式。

1、电击穿

由于外电场的存在，电离电子在强电场中积累起足够能量，使其相互间发生碰撞导致电击穿。其特点是过程快，击穿电压高。

2、热击穿

击穿电压随温度和电压作用时间的延长而迅速下降，这时的击穿过程与电介质中的热过程有关，称为热击穿。环境温度和电压作用时间增加，热击穿电压下降;电介质厚度增加，平均击穿场强将下降。

3、电化学击穿

在电场作用下，电介质中可能因此而发生化学变化，不可逆地逐渐增大了电介质的电导，最后导致击穿，称为电化学击穿。由于化学变化通常导致介质损失增加，因而电化学击穿的最终形式常是热击穿。

4、沿面击穿

在实际的绝缘结构中，固体介质周围往往有气体或液体介质，击穿常常沿着两种电介质交界面并在电气强度较低的一侧发生，称为沿面击穿。沿面击穿电压比单一介质击穿电压要低。电容器电极边缘，电机线(棒)端部绝缘体很容易发生沿面放电，对绝缘的损害很大。

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